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2025年03月26日 21:16:00
西湖大学孵化企业实现12英寸碳化硅衬底激光剥离
《科创板日报》26日讯,近日,由西湖大学孵化的西湖仪器成功实现12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化解决方案,大幅降低损耗,提升加工速度,率先解决了12英寸碳化硅衬底“切片”难题。
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